减少废气中臭氧浓度的方法，包含以下步骤：
（１）提供一水洗装置，此水洗装置包括一具有一气体输入口、一气体排出口与复数个填充物的槽体，一使还原剂溶液流经此填充物的液体注入元件，以及一与液体注入元件连接的储存槽；其中此输入口位于此槽体下端，此排出口位于此槽体上端；此复数个填充物填充于此槽体中；
（２）将一气体自此输入口输入此水洗装置中，以使此气体与还原剂溶液接触；
（３）将此气体由此排出口排出。以提供一稳定且能有效处理高浓度臭氧方法。